真空泵真空機組的配置!實用。
發(fā)布日期:2020-06-08 瀏覽次數(shù):1375
不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空泵真空機組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。
高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組,中真空一般需要二級機組。
一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的真空泵真空機組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制,即前級高于某一壓力,泵就不能正常工作。而當(dāng)前級泵達到這一臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續(xù),而且各泵皆可工作在*狀態(tài)。
真空泵真空機組工作在中真空范圍,是比較適合的,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級高真空機組進入較高的真空度時,由于主泵的排氣流量明顯減少,此時僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性,在實際運用中這是經(jīng)常采用的方法,這樣可減少機組的能耗。